检测平台设备
 
100mm口径激光干涉仪
表面平面度超精密测量,透过波前误差测量,平行度测量。测试光学非均匀性,透反射低频波面质量,PSD1波面质量。
 
紫外/可见/近红外分光光度计
用于光学材料、纳米材料、液体、固体粉末等样品的常温变温吸收光谱分析,包括反射率和全透射光谱测量的积分球系统,更可以作为鉴定及定量分析的强有力的手段。
 
氧氮分析仪
测定材料中氧、氮的元素含量。
 
中红外光束质量分析仪
测量信号光的M2因子、光斑尺寸、椭圆度、位置、功率、能量分布、发散角。
 
X射线衍射仪
该设备能够精确地对粉末、薄膜等多晶样品进行物相定性定量分析、结晶度分析、晶胞参数计算、固溶体分析、晶粒大小分析、薄膜掠射、薄膜反射率、外延薄膜衍射分析,具体包括:
1.常规粉末衍射;
2.粉末纳米样品的粒度分布;
3.薄膜的物相、厚度分析,高分辨衍射分析;
4.材料应用分析与微区分析。
 
激光共聚焦显微系统
光等不同观测模式;激光共聚焦系统可满足表面形貌扫描、粗糙度测量(满足国际标注)、三维形貌图拼接等。
 
半导体器件霍尔效应测试系统
可测量半导体薄膜性能,主要包括电阻率、霍尔系数、迁移率、载流子浓度、薄膜电阻以及主要载流子类型的判断等等。
 
傅里叶变换红外光谱仪
不仅可以测量各种气体、固体、液体样品的吸收、透过光谱等,而且可用于短时间化学反应测量。在电子、化工、医学等领域均有着广泛的应用。
 
光纤折射率测试分布仪
1) 测量光纤、光纤熔点区域三维折射率分布,精度:+/? 0.0001
2) 测试有源光纤的掺杂浓度
3) 测试光纤内部应力
4) 测试同心度误差
5) 测试光纤种类:SM、MM、PM光纤、八边形掺Yb光纤、多芯光纤、PCFPM-PCF等
 
 
棱镜耦合仪
Metricon Model 2010棱镜耦合仪使用先进的光波导技术对电介质及聚合物膜的膜厚和折射率/双折射进行快速及准确的测量。对于许多薄膜及光波导用途,Model 2010提供了比以椭圆光度法或分光光度法为基础的传统仪器更独特的技术。
1.折射率精度:±0.001 (甚至更高 0.0001-0.0002)z 折射率分辨率: ±0.0003(甚至高于0.00005);
2.厚度精度:±(0.5%+50?),厚度分辨率:±0.3%;
3.折射率测量范围:2.65以下(一些情况可达3.35以下);
4.操作波长:632.8nm,1310nm,1550nm以及其他可见光/近红外光;
5.允许的基底材料:硅、砷化镓、玻璃、石英、GGG、蓝宝石、锂酸铌等。