加工平台设备
 
  飞秒激光加工系统
      FemtoLAB大口径高精度飞秒激光维纳加工系统由立陶宛Altechna R&D公司(简称WOP)集成。采用1028/514/343nm三波长Pharos飞秒激光器,7×24小时稳定工作免维护。采用Aerotech大口径(500*500mm)、高精度(±200nm)、高稳定性三轴定位系统。可用于对陶瓷、玻璃、晶体和蓝宝石等脆性易碎材料,立方氮化硼、金刚石、碳化钨等超硬材料表面微纳结构制作、超表面结构制备、三维微纳纳结构制作;光纤光波导加工;研制新型微光学结构;高深径比微孔加工;透明材料折射率改变和加工;材料修复和改性;选择性去除等。